高純度BA/EP級半導(dǎo)體真空球閥參數(shù)
操作方式 ：1/4 Turn pneumatic open and close
壓力范圍： 2 bar ~ 1x10-4 mbar
泄漏率: 9x10-7 mbar.l/sec
材質(zhì)：316 S.S , PTFE
壓力：<=2 bar
溫度 ：<=Cylindr 80°C/Body 100°C
空氣壓縮連接頭 : 2x1/4"NPT
氣體壓力 : 4-7 kg/cm2
奇高主要服務(wù)于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能、光電、真空鍍膜、其他高性能真空系統(tǒng)、科研機(jī)構(gòu)等高科技領(lǐng)域;多年來持續(xù)占有全球市場主要市場份額。奇高閥門專注于真空閥門領(lǐng)域，因其研發(fā)創(chuàng)新和業(yè)界聞名的好品質(zhì)，很多半導(dǎo)體芯片設(shè)備以及太陽能設(shè)備制造廠商都在其機(jī)臺設(shè)備中大量采用了奇高公司的產(chǎn)品。
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